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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐管

  • 產(chǎn)品型號(hào):SVCS
  • 產(chǎn)品廠商:其它品牌
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐管 臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐管用于沉積高品質(zhì)的n型摻雜或非摻雜的多晶硅或非晶硅;用于沉積高品質(zhì)的低應(yīng)力氮化硅或氮氧化硅。
詳情介紹:

臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐管






產(chǎn)品簡(jiǎn)介

用于沉積高品質(zhì)的n型摻雜或非摻雜的多晶硅或非晶硅;用于沉積高品質(zhì)的低應(yīng)力氮化硅或氮氧化硅。



主要技術(shù)指標(biāo)

    爐管1:N型多晶硅以及非晶硅薄膜沉積工藝

氣體:高純N2、SiH4、PH3

    爐管2:低應(yīng)力氮化硅,氮氧化硅薄膜

氣體:高純N2、NH3、N2O、SiH2Cl2

    溫度:700-900 °C

    硅片尺寸:3英寸、4英寸、6英寸圓片;50片/爐

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京公網(wǎng)安備 11010802025692號(hào)

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